检测设备，半导体制造必不可少的环节。

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智东西内参

在半导体设计、制造、封装中的各个环节都要进行反复多次的检测、测试以确保产品质量，从而研发出符合系统要求的器件。缺陷相关的故障成本影响高昂，从IC级别的数十美元，到模块级别的数百美元，乃至应用端级别的数千美元。因此，检测设备从设计验证到整个半导体制造过程都具有无法替代的重要地位。00年我国半导体检测设备市场为亿元，预计未来五年预计复合增长率为14%，增速高于全球。

广义上的检测设备分为前道量检测和后道测试设备。量检测的对象是工艺过程中的晶圆，测试的对象是工艺完成后的芯片。前道量检测设备00年全球市场为69亿美元，我国约15亿美元。后道测试设备